图文详情
配置与优势:
样品尺寸最大可达: 470 x 370 mm2
Mask机械定位/CCD相机定位,精度可达:土5 μm
有机物源(金属,陶瓷,石墨,PBN等)
自动速率控制精度: 0.01 A/s
源炉温度控制精度:土0.1 °C
支持多源炉顺序蒸发和共蒸发
独立全自动挡板控制
镀膜均匀性优于士3%
选配:
手套箱集成
PEALD集成
应用领域:
OLEDs
有机太阳能电池
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样品尺寸最大可达: 470 x 370 mm2
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自动速率控制精度: 0.01 A/s
源炉温度控制精度:土0.1 °C
支持多源炉顺序蒸发和共蒸发
独立全自动挡板控制
镀膜均匀性优于士3%
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手套箱集成
PEALD集成
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