图文详情
本底真空度优于10-9 Torr；
最大3英寸基片；
基片台功能:加热800C，旋转，偏压；
2寸靶枪最多可放置4支；
靶枪可倾斜，升降，可升级强磁靶头；
可选配快速进样室，进样室可清洗基片；
可配备离子束辅助沉积；
可配备多路工艺气路；
自动压力控制系统。
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本底真空度优于10-9 Torr；
最大3英寸基片；
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可选配快速进样室，进样室可清洗基片；
可配备离子束辅助沉积；
可配备多路工艺气路；
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